第435章 第一台国产光刻机(第2/3 页)
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是足足有余了。当然，对方说的也只是理论最小精度，毕竟理论和现实还是有相当差距的。
“那加工速度怎么样？曝光时间多少？”
“图案曝光三十秒左右，加工速度就不好说了，速度要看掩膜板的数量和晶圆面积，还要计算人工流程的停机时间。如果以十张掩膜板为例，停机时间，算上晶圆尺寸……每台机器每小时大概能生产八十颗左右的半导体，算上良品率大概能有五十颗吧！当然工艺更复杂的情况下就不好说了。每小时三四十颗或这十几二十颗也是可能的，主要还是要看工艺。”
袁枫点了点头，按理说二十张板的话，一台机器，一小时能生产三四十颗芯片也算行了。就算现在的机器性能不行，只能开半天机，每天起码也能生产三四百颗，一年起码十万颗，十台机器年产能就是一百万，五百万芯片产能的话，五十台机器�
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